定制玻璃铬标定板
产品特点
| 技术参数 | ||||||||
| 图案 | 基材 | |||||||
| 制作工艺 | 光刻 | 玻璃基材料 | 苏打玻璃 (浮法玻璃) |
石英玻璃 (熔融石英) |
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| 最小线宽 | 1μm / 0.7μm | 通过率 (@550nm) |
>90% | >95% | ||||
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特征精度 / 整体精度 |
±1μm | 热膨胀系数 (20-200 ℃) |
<80X10⁻⁷/K | <5.0x10⁻⁷/K | ||||
| 涂层 | 亮铬 (高反射率) |
棕铬 (常用) |
蓝铬 (低反射率) |
膨胀比 (20-200 ℃) |
0.00085％ (8.5μm/℃ of 1m) |
0.00006％ (0.6μm/℃ of 1m) |
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| 反射率 | < 66% @550nm | <6% @550nm | < 13.4% @550nm | 表面平整度 | <5μm (Dimension<100mm) | <1μm (Dimension<50mm) | ||
| < 73% @650nm | < 17% @650nm | < 1.8% @650nm | <20μm (Dimension<200mm) | <2μm (Dimension<100mm) | ||||
| < 68% @750nm | < 23% @750nm | < 2.67% @750nm | <50μm (Dimension>200mm) | <5μm (Dimension>100mm) | ||||
| 涂层厚度 | 120nm (±0.20nm) |
100nm (±0.20nm) |
120nm (±0.20nm) |
表面粗糙度 | <0.025μm | |||
| 光密度 OD | >3 | >3 | >4.5 | 厚度 | 1.6mm (±0.3mm) |
2.3mm (±0.3mm) |
3.0mm (±0.3mm) |
4.8mm (±0.3mm) |
| 白底 | 最小线宽：10μm，白底厚度：40μm （背面白色光滑涂层） |
最小 / 最大尺寸 | MIN: 4x4mm, MAX: 800x960mm (±0.1mm) |
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| 正负图形 | 正片：图案着色 负片：图案干净 |
外观形状 | 激光切割 任意外形 |
方形 | 椭圆 | 圆形 | ||
| 背面玻璃磨砂 | 可根据需求将被背面玻璃磨砂 | 特殊形状 | 打孔 | 倒角 | 斜切角 | 内切角 | ||
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• 外形公差 ±0.01mm. |
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