USAF 1951 标定板
产品特点
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图案说明
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美国空军1951年按照MIL-STD-150A标准，设计了这款显微光学分辨率测试装置。它广泛用于光学工程实验室工作，以分析和验证成像系统，如显微镜、相机和图像扫描仪。
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常用的USAF 1951分辨率板，由9组组成，每组6个元素。 每个元素由横或竖三个长方形组成。使用中，通过观察到最大的无法明确分辨的元素线条和间隙，则表明已经到达该系统的分辨率极限。
- 客户可根据实际用途定制。现阶段光刻工艺最小可制作到9组2，最小线宽达0.87μm。
标品选择
| 型号 | 基材 | 涂层类型 | 外形尺寸 | 正负图形 | 图案要求 | 精度 |
| LTU-025-(0-9,1)-PG | 石英玻璃 | 蓝铬 | 25x25mm/1" | 正 | 1.6mm | 0组1-9组1 |
| LTU-025-(0-9,1)-NG> | 石英玻璃 | 蓝铬 | 25x25mm/1" | 负 | 1.6mm | 0组1-9组1 |
| LTU-025-(0-9,6)-PG | 石英玻璃 | 蓝铬 | 25x25mm/1" | 正 | 1.6mm | 0组1-9组6 |
| LTU-025-(0-9,6)-PG | 石英玻璃 | 蓝铬 | 25x25mm/1" | 负 | 1.6mm | 0组1-9组6 |
| LTU-050-(0-9,1)-PG | 石英玻璃 | 蓝铬 | 50x50mm/2" | 正> | 1.6mm | 0组1-9组1 |
| LTU-050-(0-9,1)-PG | 石英玻璃 | 蓝铬 | 50x50mm/2" | 负 | 1.6mm | 0组1-9组1 |
| LTU-050-(0-9,6)-PG | 石英玻璃 | 蓝铬 | 50x50mm/2" | 正 | 1.6mm | 0组1-9组6 |
| LTU-050-(0-9,6)-PG | 石英玻璃 | 蓝铬 | 50x50mm/2" | 负 | 1.6mm | 0组1-9组6 |
| LTU-076-(-2-9,1)-PG | 石英玻璃 | 蓝铬 | 76x76mm/3" | 正 | 1.6mm | -2组1-9组1 |
| LTU-076-(-2-9,1)-PG | 石英玻璃 | 蓝铬 | 76x76mm/3" | 负 | 1.6mm | -2组1-9组1 |
| LTU-076-(-2-9,6)-PG | 石英玻璃 | 蓝铬 | 76x76mm/3" | 正 | 1.6mm | -2组1-9组6 |
| LTU-076-(-2-9,6)-PG | 石英玻璃 | 蓝铬 | 76x76mm/3"> | 负 | 1.6mm | -2组1-9组6 |
标品选择
| 每毫米对线数 (lp/mm) in USAF 分辨率测试目标 1951 | ||||||||||||
| 组数 | ||||||||||||
| Element | -2 | -1 | 0 | 1 | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 7 | 8 | 9 |
| 1 | 0.250 | 0.500 | 1.00 | 2.00 | 4.00 | 8.00 | 16.00 | 32.0 | 64.0 | 128.0 | 256.0 | 512.0 |
| 2 | 0.281 | 0.561 | 1.12 | 2.24 | 4.49 | 8.98 | 17.96 | 35.9 | 71.8 | 143.7 | 287.4 | 574.7 |
| 3 | 0.315 | 0.630 | 1.26 | 2.52 | 5.04 | 10.08 | 20.16 | 40.3 | 80.6 | 161.3 | 322.5 | 645.1 |
| 4 | 0.354 | 0.707 | 1.41 | 2.83 | 5.66 | 11.31 | 22.63 | 45.3 | 90.5 | 181.0 | 362.0 | 724.1 |
| 5 | 0.397 | 0.794 | 1.59 | 3.17 | 6.35 | 12.70 | 25.40 | 50.8 | 101.6 | 203.2 | 406.4 | 812.7 |
| 6 | 0.445 | 0.891 | 1.78 | 3.56 | 7.13 | 14.25 | 28.51 | 57.0 | 114.0 | 228.1 | 456.1 | 912.3 |
| 线宽(μm) in USAF 分辨率测试目标 1951 | ||||||||||||
| 组数 | ||||||||||||
| Element | -2 | -1 | 0 | 1 | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 7 | 8 | 9 |
| 1 | 2000.00 | 1000.00 | 500.00 | 250.00 | 125.00 | 62.50 | 31.25 | 15.63 | 7.81 | 3.91 | 1.95 | 0.98 |
| 2 | 1781.80 | 890.90 | 445.45 | 222.72 | 111.36 | 55.68 | 27.84 | 13.92 | 6.96 | 3.48 | 1.74 | 0.87 |
| 3 | 1587.40 | 793.70 | 396.85 | 198.43 | 99.21 | 49.61 | 24.80 | 12.40 | 6.20 | 3.10 | 1.55 | 0.78 |
| 4 | 1414.21 | 707.11 | 353.55 | 176.78 | 88.39 | 44.19 | 22.10 | 11.05 | 5.52 | 2.76 | 1.38 | 0.69 |
| 5 | 1259.92 | 629.96 | 314.98 | 157.49 | 78.75 | 39.37 | 19.69 | 9.84 | 4.92 | 2.46 | 1.23 | 0.62 |
| 6 | 1122.46 | 561.23 | 280.62 | 140.31 | 70.15 | 35.08 | 17.54 | 8.77 | 4.38 | 2.19 | 1.10 | 0.55 |
最小线宽
玻璃参数
| 图案 | 基材 | ||
| 制作工艺 | 光刻 | 玻璃基材料 | 石英玻璃（熔融石英） |
| 最小线宽 | 1μm / 0.55μm | 透过率 (@550nm) | >95% |
| 特征精度 & 整体精度 | ±1μm | 热膨胀系数 (20-200°C) | <5.0x10⁻⁷/K |
| 涂层 | 蓝铬 (低反射率) | 膨胀比 (20-200°C) | 0.00006%(0.6μm/℃ of 1m) |
| 反射率 | < 13.4% @550nm | 表面平整度 | <0.55μm (长度<50mm) |
| < 1.8% @650nm | <2μm (长度<100mm) | ||
| < 2.67% @750nm | <5μm (长度>100mm) | ||
| 涂层精度 | 120nm (±0.20nm) | 表面粗糙度 | <0.025μm |
| 光密度 OD | >4.5 | 厚度 | 1.6mm (±0.3mm) |
| 白底 | 最小线宽: 10μm | 最小/最大尺寸 | Min: 4x4 mm; |
| 白底厚度: 40μm (背面白色光滑涂层) | Max: 800x960mm (±0.1mm) | ||
| 正负图形 | 正片：图案着色 负片：图案干净 | 外观形状 | 方形 |
陶瓷参数
| 图案 | 基材 | ||||||
| 制作工艺 | 光刻 | 类型 | 哑光铬在哑光陶瓷 | 亮光铬在亮面陶瓷 | |||
| 类型 | 哑光陶瓷 | 亮面陶瓷 | 陶瓷基材 | 白色或近白色反射材料 包括96%的压实氧化铝 |
|||
| 最小线宽 | 4μm | 2μm | 厚度 | 1mm (±0.1mm) (常用) |
0.38mm (常用) |
0.635mm (±0.1mm) |
2mm (±0.1mm) |
| 特征精度 | ±2μm | ±2μm | 表面平整度 | <30μm (长度<100mm) |
<60μm (长度<200mm) |
<100μm (长度>200mm) |
|
| 外形精度 | ±0.05μm | ±0.05μm | 最小/最大尺寸 | MIN: 4x4mm (±0.1mm) MAX: 228x228mm (±0.1mm) |
|||
| 涂层 | 铬 | 铬 | 表面粗糙度 | <0.2-0.7μm | |||
| 光涂层/哑涂层 | 哑光铬涂层 | 亮光铬涂层 | 热膨胀系数 (40-400 ℃) |
<6.7X10⁻6/K | |||
| 反射率 | < 12.88% @550nm | < 9.56% @550nm | 单位比重 | ≥ 3.66 g/cm3 | |||
| < 10.62% @650nm | < 1.89% @650nm | ||||||
| < 12.23% @750nm | < 11.168% @750nm | ||||||
| 涂层厚度 | 100-120nm | 洛氏硬度 | ≥80 HRA | ||||
| 正负图形 | 正片：图案着色 负片：图案干净 |
外观形状 | 激光切割任意外形 | 方形 | 椭圆 | 圆形 | |
| 保护层 | 铬层上方的薄膜使铬图案更耐用 | 特殊形状 | 打孔 | 倒角 | 斜切角 | 内切角 | |
菲林参数
| 图案 | 菲林基材 | ||
| 生产工艺 | 光绘 | 应用 | 用于背光照明/透射照明应用 |
| 最小线宽 | 15μm / 30μm 可选 | 膨胀系数 | 菲林遇热收缩，遇冷膨胀。 |
| 特征精度 | ±15μm | 18μm/℃ of 1m 当相对湿度恒定时， 温度每变化1℃时， 长度为1m的菲林将变化18μm。 |
|
| 涂层 | 溴化银 | 透过率 (400~700nm) |
>83% |
| 涂层厚度 | 5μm | 菲林基材厚度 | 0.175mm / 0.1mm 可选 (±0.01mm) |
| 光密度OD | 100% 黑时OD>4 （灰阶时OD值可控） |
最大尺寸 | 1x1m (±0.1mm) (最小线宽15μm) 1.3x2.6m (±0.1mm) (最小线宽30μm) |
| 颜色 | 黑色 灰阶 正弦灰阶 |
外形 | 可激光切割 可直边切割 可圆孔镂空 |
正负图形
 |
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| 正片：图案着色 | 负片：图案干净 |
定制配套光源
背光系统特性 :
- 最大发光面积: 2.1 × 1.4 m
- 均匀度: 95%
- 红外光: 红外光、可见光可选
- 高亮度可选
- 色温:2700-7000K
